據(jù)Nanowerk 1月28日報道，東京工業(yè)大學(xué)的科學(xué)家研發(fā)出一種微型能量采集器，其設(shè)計過程更加靈活多變。這種由外置駐極體提供電能的MEMS振動能量采集器，對未來物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的發(fā)展至關(guān)重要。該采集器將在2019年第32屆國際微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)及應(yīng)用展覽會上展出。

如今，電子設(shè)備的體積越來越小。在即將到來的物聯(lián)網(wǎng)時代中，通過微型傳感器可以研發(fā)出在科幻小說中才有的科技應(yīng)用。然而，微電子設(shè)備的運(yùn)行依舊需要電能，其運(yùn)行電力主要來自微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)對機(jī)械振動等環(huán)境能量的收集。

圖1|傳統(tǒng)的MEMS能量采集器(圖片來源:Tokyo Institute of Technology)

如圖1所示，傳統(tǒng)的MEMS能量采集器將駐極體(在強(qiáng)外電場等因素作用下，極化并能“永久”保持極化狀態(tài)的電介質(zhì))置于MEMS電容器中，該電容器中有一個借助環(huán)境能量驅(qū)動的移動電極，從而引起電荷的移動。但是，駐極體和MEMS組件的制造工藝必須相互兼容，其設(shè)計和制造具有很大的局限性。

東京工業(yè)大學(xué)的助理教授Daisuke Yamane及其科研團(tuán)隊(duì)研發(fā)出一種新型MEMS能量采集器。它由兩個獨(dú)立的晶片組成：一個是MEMS可調(diào)電容器，另一個是由駐極體和介電材料組成的電容器(圖1)。

Yamane教授說：“該技術(shù)首次實(shí)現(xiàn)了駐極體和MEMS組件的分離?！?/p>

圖2|新型MEMS能量采集器的采集原理(圖片來源：Tokyo Institute of Technology)

新型MEMS能量采集器的采集原理如圖2所示。駐極體電路的電容是固定的(Cfix)，而MEMS可調(diào)電容器(CM)的電容根據(jù)彈簧的拉伸(由外部振動引起)而變化。

當(dāng)CM變得高于Cfix時，將引起電荷移動并且可調(diào)電容器獲得電荷。同樣地，當(dāng)Cfix較高時，電荷沿相反方向移動，并且駐極體電路中的電容器獲得電荷。

圖3|系統(tǒng)電路圖與輸出電壓(圖片來源：Tokyo Institute of Technology)

電荷的移動產(chǎn)生了可用電力。圖3的左側(cè)是芯片的構(gòu)造及裝置簡化圖，右側(cè)表示采集器產(chǎn)生的電壓。

Yamane教授道：“新型能量采集器將駐極體與MEMS組件分離，提高了設(shè)計和制造的靈活性。該技術(shù)便于工程師的設(shè)計和制造MEMS能量采集器，這將促進(jìn)物聯(lián)網(wǎng)時代的發(fā)展?！?/p>